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一种ITO颗粒的气氛烧结方法

基本信息

申请号 CN202110242931.2 申请日 -
公开（公告）号 CN112898014B 公开（公告）日 2022-06-07
申请公布号 CN112898014B 申请公布日 2022-06-07
分类号 C04B35/457（2006.01）I;C04B35/64（2006.01）I 分类 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
发明人 唐智勇 申请（专利权）人 株洲火炬安泰新材料有限公司
代理机构 长沙鑫泽信知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 -
地址 412000湖南省株洲市天元区天易科技城自主创业园一期A5栋
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种ITO颗粒的气氛烧结方法，属于ITO靶材加工技术领域，该气氛烧结方法包括以下步骤：S1、ITO素坯的制备：将In2O3粉末和SnO2粉末混合均匀，得到原料粉末，在所述原料粉末中加入粘合剂，混合均匀后喷雾造粒，然后将其装填到模具中，经模压处理及冷等静压处理后，得到ITO素坯；S2、ITO靶材的制备：将上述ITO素坯进行脱脂和抽真空处理，然后在所述ITO素坯孔隙中充入氧气，以使所述ITO素坯在常压、纯氧气氛条件及1500‑1620℃温度下烧结5‑12h，制得ITO靶材。本发明解决了传统ITO靶材气氛烧结工艺制造得到的ITO靶材密度较低的问题。