一种ITO靶材烧结尺寸控制方法
基本信息
| 申请号 | CN202210415504.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114702312A | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN114702312A | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | C04B35/457（2006.01）I;C04B35/622（2006.01）I;C04B35/64（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 唐安泰 | 申请（专利权）人 | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
| 代理机构 | 长沙鑫泽信知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 412000湖南省株洲市天元区天易科技城自主创业园一期A5栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种ITO靶材烧结尺寸控制方法，本发明作为一种ITO靶材烧结尺寸控制方法，通过晾坯：将ITO靶材坯体，放置5‑10天；对位：将ITO靶材坯体放置在承烧板上；烧结：将承烧板放置在烧结炉内，盖上炉盖，向烧结炉内通入氧气；缩板：控制承烧板聚拢，烧结完成降温开炉，得到相对密度大于90％的ITO靶材；对ITO靶材坯体烧结过程中的垂直方向收缩偏差做出补偿，使制得ITO靶材更加均匀，从而提高ITO靶材磁控溅射的利用率；其中缩板步骤中使用一种ITO靶材烧结尺寸控制装置，此装置通过转动盘上的弧形槽带动控制杆沿转动盘的径向移动，实现承烧板的收缩自如，从而补偿ITO靶材坯体底部收缩不足的问题。 |
