掩膜板
基本信息
| 申请号 | CN202122436360.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216107160U | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN216107160U | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 李世泰;赵莹;李慧;刘明星 | 申请（专利权）人 | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华进京联知识产权代理有限公司 | 代理人 | 金伟英 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站区魏武路与新蚌埠路交口西南角 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种掩膜板，包括掩膜本体，掩膜本体具有蒸镀面和背面；掩膜板本体上设置有贯穿其的蒸镀孔；蒸镀孔包括贯穿蒸镀面的第一蒸镀孔，以及与第一蒸镀孔连通且贯穿背面的第二蒸镀孔；第二蒸镀孔的内壁从靠近背面的一端向远离背面的另一端逐渐收拢；掩膜本体还包括设置于背面的下沉槽，下沉槽与至少部分第二蒸镀孔一一对应，且围绕第二蒸镀孔设置以连通第二蒸镀孔；第二蒸镀孔的内壁所在圆弧面与背面相交且形成第一夹角，第二蒸镀孔的内壁与下沉槽的底壁相交设置且形成第二夹角；第一夹角小于第二夹角。上述掩膜板，第二蒸镀孔的孔壁与背面的过渡更加平缓，从而降低了支撑柱被掩膜板刮伤的风险。 |
