微芯片的嵌入装置及其嵌入方法
基本信息
| 申请号 | CN201810301857.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110349866A | 公开（公告）日 | 2019-10-18 |
| 申请公布号 | CN110349866A | 申请公布日 | 2019-10-18 |
| 分类号 | H01L21/52;H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张晓勇;赖磊平;吴坤旭;刘茗 | 申请（专利权）人 | 上海瑞章物联网技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐文欣;吴敏 |
| 地址 | 201616 上海市松江区广富林路4855弄3号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种微芯片的嵌入装置及其嵌入方法，其中，微芯片的嵌入装置包括：溶液腔室，用于盛载溶液，所述溶液用于浸没基底；位于溶液腔室底部的高度调整装置，用于调整基底的运动基准面，所述运动基准面与溶液腔室底部之间具有夹角；运动控制装置，用于控制所述基底沿平行于运动基准面运动，所述运动包括第一运动和第一运动之后的第二运动，所述第一运动具有第一速率，所述第二运动具有第二速率，且所述第一速率大于第二速率。利用所述微芯片的嵌入装置对微芯片的嵌入效率较高。 |
