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一种太阳能电池用多晶硅片的钝化处理方法

基本信息

申请号 CN201410024995.5 申请日 -
公开（公告）号 CN103715310B 公开（公告）日 2016-05-11
申请公布号 CN103715310B 申请公布日 2016-05-11
分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 沈明荣;张漫;苏晓东 申请（专利权）人 常熟苏大低碳应用技术研究院有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 常亮
地址 215500 江苏省苏州市常熟东南经济开发区东南大道68号1幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及晶体硅太阳能电池制作工艺，公开了一种简单有效的太阳能电池用多晶硅片表面的钝化处理方法，提供经过制绒、扩散和刻蚀处理的多晶硅片，去除表面的PSG；刻蚀去除多晶硅片的边结；将多晶硅片浸没于钝化液中，同时在光照下利用钝化液中的氢离子对多晶硅片表面进行钝化处理；在多晶硅片表面沉积SiNx薄膜。本发明的钝化方法步骤少，操作简单易行；使用该钝化方法进行钝化之后的多晶硅片样品的少子寿命可以得到明显提高，进而提高了后续组件的稳定性和效率。