图像传感器及其形成方法、工作方法
基本信息
申请号 | CN201910399094.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110137193B | 公开(公告)日 | 2021-09-14 |
申请公布号 | CN110137193B | 申请公布日 | 2021-09-14 |
分类号 | H01L27/146 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 孔翠翠;许爱春;祁荣斐;王淞山 | 申请(专利权)人 | 德淮半导体有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐文欣;吴敏 |
地址 | 223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种图像传感器及其形成方法、工作方法,图像传感器包括:衬底,所述衬底包括若干像素区和若干隔离区,所述隔离区与像素区相邻,且所述隔离区包围所述像素区;位于所述衬底像素区内的感光掺杂区,所述感光掺杂区内掺杂有第一离子;位于衬底像素区表面的第一掺杂层,所述第一掺杂层内掺杂有第二离子,所述第二离子的导电类型与所述第一离子相同;位于衬底隔离区表面的第一导电层;位于所述第一掺杂层和第一导电层之间的第一绝缘层。所述图像传感器的性能得到提高。 |
