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图像传感器及其形成方法、工作方法

基本信息

申请号 CN201910339087.8 申请日 -
公开（公告）号 CN110061020B 公开（公告）日 2021-09-14
申请公布号 CN110061020B 申请公布日 2021-09-14
分类号 H01L27/146 分类 基本电气元件;
发明人 王亮;内藤逹也 申请（专利权）人 德淮半导体有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 徐文欣;吴敏
地址 223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
法律状态 -

摘要

摘要 一种图像传感器及其形成方法，方法包括：提供衬底，所述衬底包括第一区和第二区，所述第一区包括多个第一隔离区和多个第一像素区，所述第一隔离区位于相邻第一像素区之间，所述第二区包括多个第二像素区和多个第二隔离区，所述第二隔离区位于相邻第二像素区之间；在所述衬底第一隔离区表面形成第一栅格层；在衬底第一像素区表面形成第一滤光层，所述第一滤光层位于第一栅格层之间；在衬底第二隔离区表面形成第二栅格层，所述第二栅格层顶部表面高于第一栅格层；在衬底第二像素区表面形成第二滤光层，所述第二滤光层位于第二栅格层之间，所述第二滤光层的厚度大于第一滤光层的厚度。所述方法提高了图像传感器的性能。