检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法

基本信息

申请号	CN201810003808.3	申请日	-
公开（公告）号	CN108225743B	公开（公告）日	2019-10-11
申请公布号	CN108225743B	申请公布日	2019-10-11
分类号	G01M11/02（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	张齐元; 韩森; 王全召; 李雪园	申请（专利权）人	苏州维纳仪器有限责任公司
代理机构	上海德昭知识产权代理有限公司	代理人	郁旦蓉
地址	215123 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150第二教学楼B109室
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种检测任意波长光学系统离焦位置透射波前的方法，包括以下步骤：在利用激光干涉仪对光学系统检测Zernike系数之前，利用激光干涉仪对光学系统的单位长度的Zernike系数的变化系数ki(λm)进行检测，得到了公式：然后在利用激光干涉仪对光学系统进行Zernike系数的测定，得到光学系统在聚焦位置时的Zernike系数，进而得到公式：将得到的上述两个公式带入到公式中：Zi(λm,d)＝Zi(λm)+ki(λm)×Δd由于Δd可以测定，因此即可得到任意波长光学系统离焦位置的Zernike系数，进而拟合得到任意波长光学系统离焦位置的透射波前。利用上述方法计算得到的任意波长光学系统离焦位置的透射波前，大大地降低了由于实际工作位置偏离聚焦位置而导致的误差。