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多波长激光干涉装置

基本信息

申请号 CN202110896803.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113624456A 公开（公告）日 2021-11-09
申请公布号 CN113624456A 申请公布日 2021-11-09
分类号 G01M11/02（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 韩森;张齐元;朱大勇;王芳;李雪园;王全召 申请（专利权）人 苏州维纳仪器有限责任公司
代理机构 上海德昭知识产权代理有限公司 代理人 郁旦蓉
地址 215123江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150第二教学楼B109室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种多波长激光干涉装置，其特征在于，包括：激光产生单元，用于产生多种不同波长的激光光源；光源转换单元，用于将激光光源转换为点光源；分光单元，用于对点光源的进行部分折射形成分光光束，导轨机构，长度方向与分光光束的光路方向一致，准直单元，可移动地设置在导轨机构上并且能够沿导轨机构的长度方向移动，用于使分光光束形成平行光束并射入光学系统，从而反射形成参考光束以及测试光束；成像单元，用于对滤波后的参考光束以及测试光束进行干涉成像，其中，准直单元以及成像单元均采用消色差结构，不同波长至少包括一个可见光波长以及一个近红外波长，准直单元被调整为使得可见光波长和近红外波长的激光光源共聚焦。