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检测光学系统任意波长透射波前的方法

基本信息

申请号 CN201910573002.2 申请日 -
公开（公告）号 CN110307962B 公开（公告）日 2019-10-08
申请公布号 CN110307962B 申请公布日 2019-10-08
分类号 G01M11/02(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 张齐元;韩森;吴鹏;王全召;李雪园 申请（专利权）人 苏州维纳仪器有限责任公司
代理机构 上海德昭知识产权代理有限公司 代理人 郁旦蓉
地址 215123江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路150第二教学楼B109室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了两种检测光学系统任意波长透射波前的方法，一种是利用4种波长为λ1～λ4的激光干涉仪分别对复消色差光学系统进行检测，进而通过Zernike多项式拟合波长为λn的光学系统的透射波前；另一种是通过利用4种波长为λ1～λ4的检测装置分别对光学系统进行检测，进而通过离散点波前像差公式得到波长为λn的光学系统完整的透射波前。这两种方法均能够应用在单波长系统、消色差系统以及复消色差系统中，从而解决主要的透射式光学系统任意波长波前检测的问题。不仅使得特殊波长的激光干涉仪的检测范围变大，而且当需要检测一些特殊的光学系统时，也不需要使用造价昂贵的特殊波长的激光干涉仪进行检测，节约了检测成本。