一种真空紫外光源
基本信息
| 申请号 | CN202010218144.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111463104A | 公开（公告）日 | 2020-07-28 |
| 申请公布号 | CN111463104A | 申请公布日 | 2020-07-28 |
| 分类号 | H01J61/30(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 游卫龙 | 申请（专利权）人 | 浙江德清娃哈哈科技创新中心有限公司 |
| 代理机构 | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人 | 浙江德清娃哈哈科技创新中心有限公司 |
| 地址 | 313200浙江省湖州市德清县舞阳街道德清地理信息小镇C区4幢(莫干山国家高新区) | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种真空紫外光源，解决了现有技术的不足，包括封装基座和透紫外光密封盖，封装基座的外侧设有绝缘结构，绝缘结构和封装基座本体之间设有两个基座电极，绝缘结构的顶部设有可伐合金框，透紫外光密封盖下方设有共晶焊料环，封装基座和透紫外光密封盖通过可伐合金框和焊料环之间的密封配合固定连接；封装基座和透紫外光密封盖之间设有气密腔体，气密腔体内填充有惰性气体，气密腔体内还设有吸气剂和真空紫外光激发电极部件，吸气剂和真空紫外光激发电极部件均通过焊料与封装基座固定连接，真空紫外光激发电极部件通过导线和基座电极顶层相连接，基座电极底层设置在绝缘结构底侧。 |
