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一种承载装置

基本信息

申请号 CN202123159840.7 申请日 -
公开（公告）号 CN216849893U 公开（公告）日 2022-06-28
申请公布号 CN216849893U 申请公布日 2022-06-28
分类号 H01L21/687（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 尹植;方仁杰;赵磊 申请（专利权）人 成都京东方显示科技有限公司
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人 -
地址 100015北京市朝阳区酒仙桥路10号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种承载装置，用于承载待成膜基板，包括支撑部、遮挡部和固定部，遮挡部与支撑部对接形成凹槽；凹槽用于容纳待成膜基板的一侧边缘并对其形成支撑；固定部位于支撑部上，且位于凹槽的背离遮挡部的一侧，用于固定承载装置；支撑部中开设有至少一个异物排出孔，异物排出孔的入口位于凹槽位置，出口与外界贯通；异物排出孔与承载装置在装载状态和卸载状态时的竖直方向之间的夹角均大于0°且小于90°。该承载装置能使落入凹槽的异物顺利进入到异物排出孔并自动排出，降低或避免异物对待成膜基板挤压造成损伤的风险，有效提高设备稼动，提升承载装置的使用寿命，同时降低承载装置的维护成本。