一种高效多晶自喷坩埚的喷涂工艺
基本信息
| 申请号 | CN201710339558.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107252762A | 公开（公告）日 | 2017-10-17 |
| 申请公布号 | CN107252762A | 申请公布日 | 2017-10-17 |
| 分类号 | B05D7/00;B05D3/02;C09D1/00;C09D7/12;C30B35/00 | 分类 | 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 张泽林 | 申请（专利权）人 | 南通综艺新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226000 江苏省南通市南通高新技术产业开发区青岛路168号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种高效多晶自喷坩埚的喷涂工艺，包括如下步骤：坩埚检查——坩埚加热——配粉——搅拌——试喷——喷涂——冷却。本发明中的坩埚喷涂用纯水和硅胶把粉末喷料氮化硅涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层，涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂，及冷确后最终保证硅碇脱膜完整性。 |
