一种超长N型硅芯圆棒的生产工艺
基本信息
| 申请号 | CN201710340051.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107217297A | 公开（公告）日 | 2017-09-29 |
| 申请公布号 | CN107217297A | 申请公布日 | 2017-09-29 |
| 分类号 | C30B15/20(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 章勇 | 申请（专利权）人 | 南通综艺新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226000 江苏省南通市南通高新技术产业开发区青岛路168号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种超长N型硅芯圆棒的生产工艺，包括如下步骤：装料——化料——安定——引晶——等径——收尾——冷却。本发明中通过晶体生长过程中氩气流量的控制，以此保证晶体热量缓慢的散失。调整设备工艺参数，包括升高石墨加热器的加热功率、降低晶体的长晶速度，让温度缓慢降低，通过控制晶体生长速度，起到缓慢长晶的效果，减少位错和热应力。通过控制氩气流量和腔体的温度以及真空阀门的开度减少N型杂质的散失，让杂质在晶体中合理的分布。 |
