一种双电源炉台半熔工艺
基本信息
| 申请号 | CN201710337845.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107217299A | 公开（公告）日 | 2017-09-29 |
| 申请公布号 | CN107217299A | 申请公布日 | 2017-09-29 |
| 分类号 | C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 章勇 | 申请（专利权）人 | 南通综艺新材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226000 江苏省南通市南通高新技术产业开发区青岛路168号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种双电源炉台半熔工艺，包括如下步骤：加热阶段——熔化阶段——退火阶段。本发明中的双电源热场是对传统的加热器控制方式进行优化，提出双区加热系统，顶部加热器和侧面加热器分别通过单独的控制回路控制功率输出，采用两个独立的变压器及温控系统来控制加热器功率。 |
