微型毛细管电泳芯片及其制备方法
基本信息
申请号 | CN201910444190.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110308195A | 公开(公告)日 | 2019-10-08 |
申请公布号 | CN110308195A | 申请公布日 | 2019-10-08 |
分类号 | G01N27/447;B01L3/00;G01N21/84 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 林孝康;张明哲;傅嵩 | 申请(专利权)人 | 重庆高开清芯科技产业发展有限公司 |
代理机构 | 北京律恒立业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人 | 重庆高开清芯科技产业发展有限公司 |
地址 | 400039 重庆市九龙坡区科城路60号康田西锦荟2幢9层15号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种微型毛细管电泳芯片包括第一层结构,在第一层结构下表面布置至少一组微金属电极,并且贯穿第一层结构开设至少一个进液孔和一个出液孔;第二层结构,在第二层结构上表面刻蚀微通道,以及储液腔、缓冲液腔和、第一废液腔和第二废液腔;第三层结构,所述第三层结构为CMOS检测电路层,所述CMOS检测电路的上表面为硅芯片;所述第一层结构与第二层结构键合,使所述进液孔与所述储液腔或缓冲液腔对齐,所述出液孔与所述第一废液腔或第二废液腔对齐,所述第二层结构与所述CMOS检测电路的上表面的硅芯片键合。本发明芯片结构高度集成化,简化传统的电泳芯片检测装置,减少检测成本,实现快速片上检测。 |
