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对位控制装置、对位控制方法、计算机设备及存储介质

基本信息

申请号 CN202110849697.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113296299B 公开（公告）日 2021-10-01
申请公布号 CN113296299B 申请公布日 2021-10-01
分类号 G02F1/13（2006.01）I 分类 光学;
发明人 朱峰;王兵兵;宋文环 申请（专利权）人 苏州华兴源创科技股份有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 郭凤杰
地址 215000江苏省苏州市苏州工业园区青丘巷8号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及自动化设备检测技术领域，公开了一种对位控制装置、对位控制方法、计算机设备及存储介质，包括运动模块，用于根据第一控制指令将多个待测样品移动至第一目标位置，根据第二控制指令对多个待测样品进行调整并移动至第二目标位置；运动模块包括样品搬运单元、第一位置调整单元和第二位置调整单元；图像获取模块，用于获取多个待测样品在第一目标位置处的对位图像；控制模块，分别与运动模块和图像获取模块电连接，用于输出第一控制指令至运动模块，根据图像获取模块获取的对位图像计算移动补偿值，并根据移动补偿值输出第二控制指令至运动模块。可实现同时对多个待测样品的对位操作，可以节省较多的硬件成本，且操作简单、适用范围广。