一种大行程多自由度纳米级定位装置与控制方法
基本信息
申请号 | CN202010344436.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN111421526A | 公开(公告)日 | 2020-07-17 |
申请公布号 | CN111421526A | 申请公布日 | 2020-07-17 |
分类号 | B25J9/00 | 分类 | - |
发明人 | 周丰伟;钱晓明;孟凯 | 申请(专利权)人 | 无锡富瑞德测控仪器股份有限公司 |
代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 无锡富瑞德测控仪器股份有限公司 |
地址 | 214192 江苏省无锡市锡山经济开发区蓉通路75号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及一种大行程多自由度纳米级定位装置与控制方法,包括底座,所述底座顶部通过带自锁下铰链连接电动缸一端,所述电动缸另一端连接微动驱动机构一端,所述微动驱动机构另一端通过带自锁上铰链连接工作台底部。本发明,结构简单,大行程高精度,通过发明的驱动结构具有大行程高精度的特点,实现平台的大行程高精度,弥补了传统的高精度行程小的缺陷。多自由度,通过并联机器人机构实现了多自由的任意姿态调节,满足各种定位需求。自动化程度高,通过计算机实现整个定位和控制方法,可以高效实现定位操作提高使用效率。 |
