一种探针基准补偿系统及方法
基本信息
申请号 | CN201611210936.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106643602A | 公开(公告)日 | 2017-05-10 |
申请公布号 | CN106643602A | 申请公布日 | 2017-05-10 |
分类号 | G01B21/00(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 刘超 | 申请(专利权)人 | 重庆与德通讯技术有限公司 |
代理机构 | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 上海与德信息技术有限公司;重庆与德通讯技术有限公司 |
地址 | 201506 上海市金山区亭卫公路6558号4幢1419室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明涉及电子器件领域,公开了一种探针基准补偿系统及方法。本发明实施方式中,探针基准补偿系统包括探针补偿设备、计算装置以及轴机,探针补偿设备与计算装置以及轴机连接,计算装置根据3D支撑曲面转换为虚拟平面,探针补偿设备根据虚拟平面与被测产品的基准面的倾斜角度,控制轴机旋转使虚拟平面与基准面平行,其中,被测产品同一平面内四个探测点位构成被测产品的基准面。本发明实施方式能有效节约探针时间,节省加工成本,提升产品品质。 |
