晶圆对准显微镜、光刻机、键合机及压印机
基本信息
| 申请号 | CN202111072897.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113885300A | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN113885300A | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | G03F9/00（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李凡月;申建雷;沈宝良;黄伟 | 申请（专利权）人 | 拾斛科技（南京）有限公司 |
| 代理机构 | 南京睿之博知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周中民 |
| 地址 | 211800江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区2号楼720-82室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种晶圆对准显微镜，包括光学成像系统和图像传感器，光学成像系统包括沿光束传播方向依次布置的第一镜组、第二镜组、第三镜组，第一镜组将对准标记成像到无穷远，第二镜组将无穷远处的对准标记成像到无穷远，第二镜组把经过光束分裂为第一光束和第二光束，从第二镜组射出的第一光束的x、y、z方向均不改变，从第二镜组射出的第二光束的z方向不变，x和y方向相反；第三镜组分别接收第一、二光束，并将无穷远处的对准标记分别成像到两个图像传感器。采用晶圆对准显微镜可以消除对准系统光轴偏移的问题，从而达到与传统晶圆对准检测设备旋转晶圆相同的效果，可以高精度实现晶圆标记对准检测。 |
