一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备
基本信息
| 申请号 | CN201921459320.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210915833U | 公开（公告）日 | 2020-07-03 |
| 申请公布号 | CN210915833U | 申请公布日 | 2020-07-03 |
| 分类号 | C03B37/014 | 分类 | - |
| 发明人 | 张亮;甘发勇;沈文义;邹鑫鹏 | 申请（专利权）人 | 武汉智纤科技有限公司 |
| 代理机构 | 武汉智权专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李斯 |
| 地址 | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷二路219号鼎杰现代机电信息孵化园一期16号楼801室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种可调节的激光接收端及VAD工艺设备，涉及芯棒制造领域，激光接收端用于配合激光发射端定位靶棒端部初始位置，包括：底板，其固定安装于VAD工艺设备的沉积腔安装基座；连接柱，其一端垂直设置于所述底板；旋臂，其转动设置于所述连接柱的另一端，所述旋臂安装有激光接收器；当所述旋臂处于第一位置时，所述激光接收器接收到所述激光发射端发射的激光束，且激光束所在的直线是所述旋臂带动激光接收器转动轨迹的切线；VAD工艺设备安装有上述激光接收端；本实用新型使得激光接收端的调节工作变得操作简便、高效省力且能准确恢复至原位。 |
