制备钙钛矿吸收层的设备和方法及其应用
基本信息
| 申请号 | CN202110725392.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113451516A | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113451516A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01L51/48（2006.01）I;H01L51/42（2006.01）I;C23C14/06（2006.01）I;C23C14/12（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C30B23/00（2006.01）I;C30B29/12（2006.01）I;C30B29/54（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李明洁;王雪戈;吴俊杰;邵君;于振瑞 | 申请（专利权）人 | 极电光能有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵丽婷 |
| 地址 | 214101江苏省无锡市锡山经济开发区东部园区大成路1098 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了制备钙钛矿吸收层的设备和方法及其应用，制备钙钛矿吸收层的设备包括：无机腔室、沉积腔室和有机腔室，所述无机腔室上设有第一进气口和第一压力调节口，所述无机腔室内设有第一蒸发舟，所述第一蒸发舟上盛放无机前驱物；所述沉积腔室与所述无机腔室连通，所述沉积腔室与所述无机腔室的连接处设有第一阀门，所述沉积腔室内设有基底载台，所述基底载台上方设有可转动地挡板，所述基底载台的倾角可调，并且所述沉积腔室上设有排气口；所述有机腔室与所述沉积腔室连通，所述有机腔室与所述沉积腔室的连接处设有第二阀门，所述有机腔室上设有第二进气口和第二压力调节口，所述有机腔室内设有第二蒸发舟，所述第二蒸发舟上盛放有机前驱物。 |
