钙钛矿光伏组件光吸收层的薄膜晶化装置

基本信息

申请号 CN202120403949.1 申请日 -
公开(公告)号 CN214254460U 公开(公告)日 2021-09-21
申请公布号 CN214254460U 申请公布日 2021-09-21
分类号 H01L51/48(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李明;冯治华;邵君 申请(专利权)人 极电光能有限公司
代理机构 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 周慧云
地址 214101江苏省无锡市锡山经济开发区东部园区大成路1098
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了钙钛矿光伏组件光吸收层的薄膜晶化装置,该装置包括:真空罩,所述真空罩罩在涂布基台上;负压箱,所述负压箱通过抽气管路与所述真空罩相连,所述负压箱的体积大于所述真空罩的体积;抽气阀门,所述抽气阀门设在所述负压箱与所述真空罩之间的抽气管路上;真空泵,所述真空泵通过管路与所述负压箱相连。该装置通过负压箱的设计,不需要大功率的真空泵也可以达到良好的低压晶化效果,从而降低了设备成本。