一种用于压阻式压力传感器的测试结构
基本信息
申请号 | CN202122223588.5 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN215984984U | 公开(公告)日 | 2022-03-08 |
申请公布号 | CN215984984U | 申请公布日 | 2022-03-08 |
分类号 | G01L9/02(2006.01)I;G01L9/00(2006.01)I;G01L19/14(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 张赟;刘怀超;程洪新;宫立国;李成林;栾新雨;于广大;杨杰 | 申请(专利权)人 | 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司 |
代理机构 | 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人 | 潘剑敏 |
地址 | 264006山东省烟台市经济技术开发区珠江路28号科技大厦1019-2室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及压力传感器技术领域,特别涉及一种用于压阻式压力传感器的测试结构,包括安置板,安置板的上方从内向外依次密封设置有内壳和外壳;外壳与内壳之间形成压力腔;外壳的中心设置有进气口,进气口与所述压力腔相通;内壳的侧壁上设置有若干个均布的通气孔;外壳和内壳均为中心对称结构;安置板设置有若干个均布的输气口,输气口用于安置待测传感器。通过流体动力学,气体在进入中心对称形状的容器中时,到达内壁的压力分布更均匀,因此,通过通气孔的调节使得输气口输出的压力相同。 |
