一种基于微纳加工工艺的多参数水质监测传感器
基本信息
| 申请号 | CN202220348512.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216771586U | 公开（公告）日 | 2022-06-17 |
| 申请公布号 | CN216771586U | 申请公布日 | 2022-06-17 |
| 分类号 | G01N27/26（2006.01）I;G01N27/06（2006.01）I;G01K7/18（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 高峰;杨剑;车寿进;张南 | 申请（专利权）人 | 明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司 |
| 代理机构 | 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 264006山东省烟台市经济技术开发区珠江路28号科技大厦1019-2室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于水质监测传感器技术领域，具体涉及一种基于微纳加工工艺的多参数水质监测传感器，包括传感器本体和芯片，所述传感器本体内设置有芯片，所述芯片包括PH电极、溶解氧电极、电导率电极和温度电极，所述PH电极包括通用正极和PH电极负极，所述溶解氧电极包括通用正极和溶解氧负极。通过采用微纳加工工艺制备，布局于硅基片上的各测试电极结构紧凑，体积小巧，集成程度高，制备简单，便于安装，并且各监测参数使用的电极材料均具有较强的热稳定性和化学稳定性，对传感器的后期测试稳定性有较强保障作用。 |
