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一种用于芯片制造中抽检装置

基本信息

申请号 CN202121306773.4 申请日 -
公开（公告）号 CN215266210U 公开（公告）日 2021-12-21
申请公布号 CN215266210U 申请公布日 2021-12-21
分类号 H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 不公告发明人 申请（专利权）人 南京国科半导体有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 211806江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢554室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及芯片制造技术领域，尤其涉及一种用于芯片制造中抽检装置，包括U型板，U型板的底端水平部位插设在循环传动带之间，U型板的顶端水平部位上开设有长条槽，长条槽的内部通过轴承转动设置有与长条槽平行的往复螺杆，往复螺杆的一端贯穿U型板且固定连接有驱动电机，长条槽的内部滑动设置有方形滑块，方形滑块的上下两面固定焊接有限位板，限位板与U型板滑动抵压接触，往复螺杆贯穿方形滑块且往复螺杆与方形滑块之间螺纹连接，位于方形滑块下方的限位板底面固定焊接有连接块。本实用新型解决了现有技术中存在人为选样毕竟带有一定的主观意见，不能完成体现出抽样的公平公正的缺点，有益效果明显，适合推广。