一种FPI批量测试系统及其测试方法
基本信息
| 申请号 | CN202111406674.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114113871A | 公开（公告）日 | 2022-03-01 |
| 申请公布号 | CN114113871A | 申请公布日 | 2022-03-01 |
| 分类号 | G01R31/01（2020.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 黄锦标;林琳;郭斌 | 申请（专利权）人 | 深圳市海谱纳米光学科技有限公司 |
| 代理机构 | 厦门福贝知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈远洋 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区69区中粮创芯研发中心1栋1903，1904 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出了一种FPI批量测试系统，包括控制器、第一多路复用器、第二多路复用器以及FPI承载模块；所述FPI承载模块包括m条横向选通线、n条竖向选通线以及由m行n列FPI载具组成的FPI载具阵列，所述FPI载具阵列用于承载待测试的FPI，从而构成FPI阵列；m条所述横向选通线的一端均电性连接第一多路复用器，且另一端分别并联所述FPI阵列对应行的n个FPI，n条所述竖向选通线的一端均电性连接第二多路复用器，且另一端分别并联所述FPI阵列对应列的m个FPI；还包括成像设备，所述成像设备用于采集所述FPI阵列的干涉图像。本发明通过搭建FPI承载模块，基于多路复用器构建FPI选通阵列，兼容了个体间的差异，满足FPI批量化测试需求，因此大大的提高了FPI的测试效率。 |
