一种大尺寸Al2O3多晶体的制备方法

基本信息

申请号 CN201711049678.9 申请日 -
公开(公告)号 CN107747127A 公开(公告)日 2018-03-02
申请公布号 CN107747127A 申请公布日 2018-03-02
分类号 C30B29/20;C30B28/06 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 韩光;千脑日布;孙全 申请(专利权)人 鄂尔多斯市达瑞祥光电科技有限公司
代理机构 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 代理人 鄂尔多斯市达瑞祥光电科技有限公司
地址 014300 内蒙古自治区鄂尔多斯市达拉特旗三垧梁工业园区纬五路北、经十路西
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种大尺寸Al2O3多晶体的制备方法,具体涉及一种内径为Φ150‑230mm,高度大于500mm,厚度15‑30mm的圆柱形冷坩埚中制备大尺寸Al2O3多晶体过程中形成高纯度、高体密度Al2O3多晶体的工艺流程。该工艺流程包括:熔炼前期坩埚、原料添入、火种添放的准备;熔炼初期火种点燃、原料熔化的控制。熔炼中期和后期控制熔化液面与加热感应线圈之间的相对位置。本发明通过在启动火种选取、启动火种铺设、点火、加热、控温以及添料等因素进行深入分析,提供了一种控制操作简单、安全的Al2O3多晶体制备方法,制备出的Al2O3多晶体纯度高、密度高、尺寸大。