一种晶硅片镀膜方法方法及装置
基本信息
| 申请号 | CN201811408440.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111223776A | 公开（公告）日 | 2020-06-02 |
| 申请公布号 | CN111223776A | 申请公布日 | 2020-06-02 |
| 分类号 | H01L21/316(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 赵科雄;陈红;常鹏飞;胡滇建;赵许飞;马威 | 申请（专利权）人 | 隆基乐叶光伏科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 隆基乐叶光伏科技有限公司 |
| 地址 | 710000陕西省西安市西安经济技术开发区草滩生态产业园尚苑路8369号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种晶硅片镀膜方法方法及装置，涉及太阳能光伏技术领域。其中，所述方法包括：在装载有晶硅片的石墨舟放入炉体内的石英管后，将所述石墨舟与所述石英管内的电极杆连接；在所述炉体的炉门关闭并抽真空后，将所述电极杆与第一电源连通，通过所述第一电源对所述石墨舟加热，以及将所述石英管外壁的电阻丝与第二电源接通，通过所述第二电源对所述电阻丝加热；在所述晶硅片的温度稳定在设定温度阈值后，将所述电极杆切换至与辉光电源连通；基于所述辉光电源，对所述晶硅片镀膜。不仅用第二电源对炉体加热，还利用第一电源对石墨舟加热，减少了加热时间，第一电源是对石墨舟直接加热，加热效率高，提升了产能。 |
