一种球形纳米二氧化硅的制备方法

基本信息

申请号 CN201610920088.8 申请日 -
公开(公告)号 CN106348306A 公开(公告)日 2021-12-10
申请公布号 CN106348306A 申请公布日 2021-12-10
分类号 C01B33/12;B82Y40/00 分类 无机化学;
发明人 李文;陈树真;敖洲;陈晓飞;沈家源;陈淑艳 申请(专利权)人 浙江华飞电子基材有限公司
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 邓琪;宋丽荣
地址 313005 浙江省湖州市旄儿港路2288号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种球形纳米二氧化硅的制备方法,包括提供粒径不大于50μm的二氧化硅颗粒;利用天然气和氧气产生火焰形成火焰场,二氧化硅颗粒在1700 2000℃的第一火焰场内熔融形成液态粒子,二氧化硅液态粒子在高于二氧化硅汽化点的2300 2600℃的第二火焰场内通过液态粒子表面蒸发形成纳米级汽化物;快速冷却定型,沿着纳米级汽化物的输送方向,风冷系统设置于冷却炉内部的环状的切向进风系统;水冷系统将纳米级汽化物中的一部分粒子形成微米级和亚微米级固态球化粒子,另一部分粒子形成单分散的纳米球化粒子;分级不同粒径的二氧化硅颗粒。本发明所生成的纳米二氧化硅的产率可以达到3% 10%。