棱镜直角工作面垂直度的检测方法及装置
基本信息
申请号 | CN201711423538.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN109959350B | 公开(公告)日 | 2021-09-28 |
申请公布号 | CN109959350B | 申请公布日 | 2021-09-28 |
分类号 | G01B11/26(2006.01)I;G01B11/27(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 苗亮;马铭泽;马固爽 | 申请(专利权)人 | 长春长光华大智造测序设备有限公司 |
代理机构 | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 廖金晖;彭家恩 |
地址 | 130033吉林省长春市经济开发区营口路77号孵化基地1号楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种棱镜直角工作面垂直度的检测方法及装置,检测装置包括:放置台,其具有用于放置被检棱镜的放置面,放置台可沿放置面的倾斜方向摆动;测角仪,其测量端面向所述放置台上放置被检棱镜的区域设置。由于放置台具有放置面,并且被检棱镜可旋转,放置台可倾斜摆动,使得放置在放置台上的被检棱镜可将不同的测量面转至与测角仪相对,并放置台通过倾斜摆动可使得被检棱镜的测量面自准直反射测角仪发射的测量光,形成自准直测量,从而通过放置台和测角仪即可精确的检测出被检棱镜直角工作面的垂直度误差,故本检测装置和方法的结构简单、检测方便及检测精度高。 |
