一种背接触异质结单晶硅太阳能电池及其制作方法

基本信息

申请号 CN201610832552.8 申请日 -
公开(公告)号 CN106252466A 公开(公告)日 2016-12-21
申请公布号 CN106252466A 申请公布日 2016-12-21
分类号 H01L31/20(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0747(2012.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 张振刚;萧生刚;宋江;刘万满 申请(专利权)人 深圳市科纳能薄膜科技有限公司
代理机构 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 贾振勇
地址 518053 广东省深圳市南山区沙河街道沙河工业区39栋208号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明适用于太阳能光伏技术领域,提供了一种背接触异质结太阳能电池及其制作方法,所述方法包括:在非晶硅层表面,通过第一镀膜技术形成一层透明导电氧化物层;在透明导电氧化物层表面,通过第二镀膜技术形成一层金属层;通过激光划线技术,按照预设的金属电极图案,在金属层上进行激光划线,在所述金属层形成包括主电极和栅线电极的金属电极图案。通过在非晶硅层与金属层中间镀一层透明导电氧化物层,再结合不同的激光特性,进行激光划线,可以避免激光划线过程中对非晶硅和硅基底的损伤,同时可有效避免金属对硅的扩散,并且相对于现有技术,本发明工艺流程较为简单,且可以采用铝等廉价金属材料,降低了电池制作成本,可以达到量产的目的。