一种柱状靶材水冷旋转单元
基本信息
| 申请号 | CN202210214204.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114717523A | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN114717523A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | C23C14/34（2006.01）I;F25D1/02（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 周磊;窦沛静;丁媛 | 申请（专利权）人 | 四川艾庞机械科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 629000四川省遂宁市高新区云锦路8号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种柱状靶材水冷旋转单元，涉及靶材冷却设备技术领域，能够在为柱状靶材提供旋转驱动以及供电的同时，还能够保证冷却效果。一种柱状靶材水冷旋转单元包括壳体、水冷单元、旋转驱动单元以及通电单元。水冷单元可转动地设置在壳体中。靶材设置在水冷单元端部。旋转驱动单元设置在水冷单元上。旋转驱动单元用于驱动水冷单元转动进而带动靶材转动。通电单元设置在壳体上并与水冷单元电连接。水冷单元在旋转驱动单元的驱动下，可以带动靶材旋转的同时冷却靶材。通电单元可以在接通水冷单元，为靶材通电。同时通过冷却单元与靶材的充分接触，使得靶材的散热面积增加，加强散热效果。 |
