基于磁光克尔效应的磁性晶圆大视野成像方法和成像装置
基本信息
| 申请号 | CN202110548994.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113884443A | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN113884443A | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | G01N21/21（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张学莹;赵巍胜;李绍新;孙蒲正 | 申请（专利权）人 | 致真精密仪器（青岛）有限公司 |
| 代理机构 | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王希刚 |
| 地址 | 100083北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了基于磁光克尔效应的磁性晶圆大视野成像方法和成像装置，所述方法包括以下内容：通过磁光克尔成像光路将磁性晶圆内部磁化状态在计算机上显示成像；具体为，所述磁光克尔成像光路包括偏振照明光路和偏振成像光路，先用偏振照明光路对磁性晶圆进行照射处理，偏振成像光路收集被磁性晶圆反射的光形成图像，成像光路将图像传送给计算机，计算机显示图像。本发明首次实现磁性晶圆大视野成像，可以提高对磁性晶圆性质的快速检测，尤其对磁性晶圆在工业领域的发展和应用具有重要意义。 |
