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一种磁性晶圆和自旋电子器件成像和演示系统

基本信息

申请号	CN202110549041.6	申请日	-
公开（公告）号	CN113884953A	公开（公告）日	2022-01-04
申请公布号	CN113884953A	申请公布日	2022-01-04
分类号	G01R33/032（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	张学莹;赵巍胜;杨怀文;孙蒲正	申请（专利权）人	致真精密仪器（青岛）有限公司
代理机构	北京华仁联合知识产权代理有限公司	代理人	王希刚
地址	100083北京市海淀区学院路37号北京航空航天大学
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种磁性晶圆和自旋电子器件成像和演示系统，包括磁性晶圆磁光克尔成像模块，自旋电子器件磁光克尔成像模块和计算机；所述磁性晶圆磁光克尔成像模块包括光源I，起偏器I，透镜元件，磁性晶圆，检偏器I，透镜组II和相机I；所述相机I与所述计算机连接；所述自旋电子器件磁光克尔成像模块包括光源II，透镜组III，起偏器II，分束镜，物镜，自旋电子器件，检偏器II和相机II。所述系统还包括电源模块和电压测量模块。本发明提供的成像和演示系统可以同时演示磁性晶圆和自旋电子器件内部的磁化状态，实现大视野成像，并且同时实现自旋电子器件的电流成像，可以实现电流和磁化状态的同步对比，直观展示自旋电子器件的工作原理。