一种外延材料结构的结构参数确定方法及计算机程序产品
基本信息
| 申请号 | CN202010385227.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111540420B | 公开（公告）日 | 2020-08-14 |
| 申请公布号 | CN111540420B | 申请公布日 | 2020-08-14 |
| 分类号 | G16C60/00(2019.01)I;G06N3/00(2006.01)I | 分类 | 物理 |
| 发明人 | 郭帅;冯巍;谢小刚 | 申请（专利权）人 | 新磊半导体科技（苏州）股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 新磊半导体科技（苏州）有限公司 |
| 地址 | 215151江苏省苏州市高新区建林路666号出口加工区配套工业园28号厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种外延材料结构的结构参数确定方法及计算机程序产品，涉及半导体测试技术领域。该方法包括：提供外延材料结构的计划结构参数；提供外延材料结构的XRD测试数据；根据预设拟合算法，对根据计划结构参数计算获得的外延材料结构的计划XRD计算数据与XRD测试数据进行拟合，从而获得经修正的计划结构参数；将经修正的计划结构参数作为外延材料结构的实际生长结构参数。在采用预设拟合算法对计划结构参数进行修正操作时，通过进行添加新的膜层、减少已有的膜层、修正组分和厚度的修正操作，使得可以对计划结构参数进行全方位的修正，而不局限于仅仅对组分和厚度的修正，从而可以获得实际生长结构的更加准确的结构参数。 |
