一种三氟甲烷纯化装置及纯化方法
基本信息
| 申请号 | CN201410159290.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103951543B | 公开（公告）日 | 2016-04-20 |
| 申请公布号 | CN103951543B | 申请公布日 | 2016-04-20 |
| 分类号 | C07C19/08(2006.01)I;C07C17/38(2006.01)I;C07C17/383(2006.01)I;C07C17/389(2006.01)I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 马建修;陈艳珊 | 申请（专利权）人 | 浙江德清华科气体有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人 | 广东华特气体股份有限公司 |
| 地址 | 528244 广东省佛山市南海区里水镇和顺逢西村文头岭脚东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种三氟甲烷纯化装置以及纯化方法，所述装置包括精馏装置和与所述精馏装置连接的吸附装置，所述精馏装置包括依次连接的一级精馏装置、二级精馏装置和三级精馏装置，所述吸附装置包括依次连接的低温吸附装置和充装装置，所述吸附装置的低温吸附装置与所述精馏装置连接。与现有技术相比，采用本发明装置纯化后三氟甲烷的纯度更高，该装置操作简单，并且其纯化工艺完整、可靠，重复性强。不仅考虑到常规杂质的脱除，且将难以脱除的二氧化碳、二氟一氯甲烷、五氟乙烷、水、颗粒度脱除到合格范围，产品纯度99.999%，符合半导体行业使用要求。 |
