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一种六氟乙烷的纯化方法

基本信息

申请号 CN201210328491.3 申请日 -
公开（公告）号 CN103664501B 公开（公告）日 2015-09-23
申请公布号 CN103664501B 申请公布日 2015-09-23
分类号 C07C19/08(2006.01)I;C07C17/38(2006.01)I 分类 有机化学〔2〕;
发明人 马建修;杜汉盛;陈艳珊;石平湘 申请（专利权）人 浙江德清华科气体有限公司
代理机构 广州三环专利代理有限公司 代理人 颜希文
地址 528241 广东省佛山市南海区里水镇和顺逢西村文头岭脚东侧
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种六氟乙烷的纯化方法，将六氟乙烷原料在-70℃~-35℃，0.1~1MPa条件进行精馏；将经过精馏的所述六氟乙烷原料在-100℃~-70℃温度条件下进行低温吸附；将经过低温吸附的所述六氟乙烷原料在0.5~1.5MPa的压力条件下进行加压吸附，获得六氟乙烷产品；所述六氟乙烷产品的CO2体积浓度≤0.5ppm，H2O体积浓度≤1ppm。采用本发明，解决了六氟乙烷中CO2和H2O脱除深度不够和引入无水HCl造成安全隐患的问题，降低能耗，增强吸附剂的吸附效果，使六氟乙烷产品达到纯度在99.9995%以上，满足半导体与微电子工业中对于电子特气的要求。