一种六氟乙烷的纯化方法
基本信息
| 申请号 | CN201210328491.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103664501A | 公开（公告）日 | 2014-03-26 |
| 申请公布号 | CN103664501A | 申请公布日 | 2014-03-26 |
| 分类号 | C07C19/08(2006.01)I;C07C17/38(2006.01)I | 分类 | 有机化学〔2〕; |
| 发明人 | 马建修;杜汉盛;陈艳珊;石平湘 | 申请（专利权）人 | 浙江德清华科气体有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 | 代理人 | 佛山市华特气体有限公司;广东华南特种气体研究所有限公司;广东华特气体股份有限公司 |
| 地址 | 528241 广东省佛山市南海区里水镇和顺逢西村文头岭脚东侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种六氟乙烷的纯化方法，将六氟乙烷原料在-70℃~-35℃，0.1~1MPa条件进行精馏；将经过精馏的所述六氟乙烷原料在-100℃~-70℃温度条件下进行低温吸附；将经过低温吸附的所述六氟乙烷原料在0.5~1.5MPa的压力条件下进行加压吸附，获得六氟乙烷产品；所述六氟乙烷产品的CO2体积浓度≤0.5ppm，H2O体积浓度≤1ppm。采用本发明，解决了六氟乙烷中CO2和H2O脱除深度不够和引入无水HCl造成安全隐患的问题，降低能耗，增强吸附剂的吸附效果，使六氟乙烷产品达到纯度在99.9995%以上，满足半导体与微电子工业中对于电子特气的要求。 |
