高温烤箱置物架组件
基本信息
| 申请号 | CN202021234229.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212161767U | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN212161767U | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | H01L21/67 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 熊志红;郑思温 | 申请（专利权）人 | 深圳仕上电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳中细软知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孔祥丹 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区福海街道新和社区晖信工业园B栋厂房1层2层、4层，C栋厂房1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种高温烤箱置物架组件，包括料架骨架和多个托架，多个托架设置在料架骨架上，托架的材质为陶瓷。本实用新型的技术方案有效地解决了现有技术中半导体工件在高温处理过程中容易掺杂杂质，降低半导体质量和成品率的问题。 |
