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颗粒物传感器芯片

基本信息

申请号 CN202121025022.5 申请日 -
公开（公告）号 CN215414907U 公开（公告）日 2022-01-04
申请公布号 CN215414907U 申请公布日 2022-01-04
分类号 G01N15/06（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 许晓典 申请（专利权）人 北京智感度衡科技有限公司
代理机构 北京世誉鑫诚专利代理有限公司 代理人 孙国栋
地址 100176北京市大兴区西环南路26号院1号楼106室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种颗粒物传感器芯片，其包括叉指电极和加热器电极。叉指电极包括第一基材层和第一金属层。第一金属层具有两个第一主体部、多个正电极部和多个负电极部。两个第一主体部沿宽度方向间隔设置，多个正电极部沿长度方向间隔设置并连接于其中一个第一主体部，多个负电极部沿长度方向间隔设置并连接于另一个第一主体部，各负电极部位于相邻两个正电极部之间并与相邻两个正电极部间隔设置。由于各负电极部与其相邻的正电极部之间的间距较小，从而提高了叉指电极对颗粒物的吸附强度，进而叉指电极不仅能吸附较小粒径的颗粒物、还能使低浓度的颗粒物最大化地沉降在颗粒物吸附区中，由此实现了实时准确地检测出低浓度颗粒物的浓度。