一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件

基本信息

申请号 CN202120537708.6 申请日 -
公开(公告)号 CN216445454U 公开(公告)日 2022-05-06
申请公布号 CN216445454U 申请公布日 2022-05-06
分类号 C23C14/50(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 王君 申请(专利权)人 宁波赉晟新材料科技有限责任公司
代理机构 合肥金律专利代理事务所(普通合伙) 代理人 段晓微
地址 315000浙江省宁波市镇海区庄市街道光明路189号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种片状工件镀膜用装夹单元和装夹组件,内挡圈的多个内支撑件沿外圈体圆周分布,并且沿径向滑动安装在外挡圈的第一骨架上,下托盘位于内外挡圈下方,从而满足多品种多批次片状零件的快速装夹,可以大范围适应不同规格的片状零件要求,模块化的设计同时最大化的满足单盘的装片量,同时提供快速散热通道,夹具内部大面积无障碍气流通道,散热效果显著,此外夹具在前期的使用以及后期的维护和管理更加易操作,可大大的降低生产制造费用。