一种反极性LED结构及其制作方法
基本信息
申请号 | CN202210434189.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114695616A | 公开(公告)日 | 2022-07-01 |
申请公布号 | CN114695616A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
分类号 | H01L33/22(2010.01)I;H01L33/14(2010.01)I;H01L33/02(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 赵鹏;徐洲;马英杰;蔡和勋;伏兵 | 申请(专利权)人 | 扬州乾照光电有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 225101江苏省扬州市下圩河路8号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请公开了一种反极性LED结构及其制作方法,通过在反极性外延片P‑GaP窗口层上做光刻,通过干法或湿法刻蚀工艺对高掺杂的P‑GaP窗口层部分进行刻蚀,形成图形化的P‑GaP窗口层,然后再整面镀膜形成氧化结构,在不影响电压的情况下,提高外量子效率,使电流扩展更好,降低电压。 |
