一种降低硅片镀膜色差的卡点

基本信息

申请号 CN201921664104.7 申请日 -
公开(公告)号 CN210167375U 公开(公告)日 2020-03-20
申请公布号 CN210167375U 申请公布日 2020-03-20
分类号 H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 沈亚光;陈煜辉;吴静 申请(专利权)人 四川中森亿超科技有限公司
代理机构 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 代理人 李英
地址 239300 安徽省滁州市天长市经济开发区经六路、纬三路
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种降低硅片镀膜色差的卡点,包括卡点本体,卡点本体呈圆柱体,在卡点本体两侧各连接一个圆柱形的限位块,所述限位块轴线与卡点本体轴线重合,限位块远离卡点本体的一端设有环形凸台,环形凸台套设在限位块侧壁外周,环形凸台、限位块与卡点本体间围成一个限位槽,所述环形凸台外径为6.0mm,限位槽宽度为0.3mm。该卡点能够有效提升硅片与石墨舟舟叶的贴合度,进而避免硅片倾斜、掉片的现象,降低硅片镀膜色差。