一种改善电池片发灰的镀膜工艺
基本信息
| 申请号 | CN201910923948.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110629202A | 公开（公告）日 | 2019-12-31 |
| 申请公布号 | CN110629202A | 申请公布日 | 2019-12-31 |
| 分类号 | C23C16/50;C23C16/34;C23C16/52;H01L31/0216;H01L31/18 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 沈亚光;吴静 | 申请（专利权）人 | 四川中森亿超科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都行之专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘沙粒 |
| 地址 | 239300 安徽省滁州市天长市经济开发区经六路、纬三路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种改善电池片发灰的镀膜工艺，本工艺的工艺条件为：第一层膜中通入的NH3和SiH4流量比为4‑5。本工艺能有效的避免电池发灰的现象，提高电池镀膜质量，提高使用效率，更便于使用。 |
