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面射型激光装置

基本信息

申请号 CN201910260182.9 申请日 -
公开（公告）号 CN111769438B 公开（公告）日 2021-10-15
申请公布号 CN111769438B 申请公布日 2021-10-15
分类号 H01S5/183 分类 基本电气元件;
发明人 许聪基;赖铭智;林弘伟;许文士;郭浩中;叶晏玮;萧越;向宇;张鹏 申请（专利权）人 苏州长瑞光电有限公司
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陈小雯
地址 215026 江苏省苏州工业园区苏虹东路388号2楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种面射型激光装置。面射型激光装置用以产生一激光光束，且包括外延叠层体以及一保护结构。外延叠层体包括一第一反射镜层、一有源层、一第二反射镜层。有源层位于第一反射镜层与第二反射镜层之间，且外延叠层体具有至少一氧化沟槽，其由外延叠层体的一表面延伸至外延叠层体内部。保护结构设置于外延叠层体上，且包括一第一叠层部分。第一叠层部分覆盖氧化沟槽的一内壁面，且第一叠层部分至少包括一应力缓冲层、一氧化铝层以及一覆盖层。氧化铝层夹设在应力缓冲层与覆盖层之间。