一种垂直腔面发射激光器快速老化方法及装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种垂直腔面发射激光器快速老化方法及装置

基本信息

申请号	CN202010406606.0	申请日	-
公开（公告）号	CN111585164B	公开（公告）日	2021-07-06
申请公布号	CN111585164B	申请公布日	2021-07-06
分类号	H01S5/00	分类	基本电气元件;
发明人	高逸群;许聪基;向宇;岳光礼	申请（专利权）人	苏州长瑞光电有限公司
代理机构	北京德崇智捷知识产权代理有限公司	代理人	杨楠
地址	215024 江苏省苏州市工业园区苏虹东路388号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种垂直腔面发射激光器快速老化方法，对晶圆上的各垂直腔面发射激光器分别进行单次大电流脉冲老化与光老化相组合的组合老化；所述单次大电流脉冲老化具体为：对垂直腔面发射激光器施加脉冲宽度不大于0.5ms，电流大小为Ith+Is的电流脉冲，Ith为所述垂直腔面发射激光器的阈值电流，Is的取值范围为45mA～60 mA；所述光老化具体为：对垂直腔面发射激光器施加5‑12小时的光老化驱动电流，所述光老化驱动电流为所述垂直腔面发射激光器的发光功率—电流的变化曲线上发光功率增大至最高点的80‑90%所对应的电流。本发明还公开了一种垂直腔面发射激光器快速老化装置。本发明在确保能提前发现各类型缺陷芯片，从而降低用户使用风险的同时，还可大幅降低老化成本。