一种倾斜式的晶圆片冲水花篮
基本信息
| 申请号 | CN202121729696.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215418125U | 公开（公告）日 | 2022-01-04 |
| 申请公布号 | CN215418125U | 申请公布日 | 2022-01-04 |
| 分类号 | H01L21/673（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄惠莺;薛正群;邓彪 | 申请（专利权）人 | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 代理机构 | 福州元创专利商标代理有限公司 | 代理人 | 陈方淮;蔡学俊 |
| 地址 | 362712福建省泉州市石狮市高新区创新创业中心11#厂房1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种倾斜式的晶圆片冲水花篮，包括倾斜放置冲洗台，所述冲洗台内部中空，其冲洗端面为圆形且端面上开设若干圆孔与内部相通，所述冲洗台下端面水平并与增高垫固连支撑，所述冲洗台沿冲洗端面外周间隔朝外凸出有若干凸块；远离冲洗台端面一端的冲洗台上固连有竖向上延伸的支杆，该倾斜式的晶圆片冲水花篮结构简单，冲洗效果好。 |
