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一种四氟化硅的纯化系统

基本信息

申请号 CN201821350154.3 申请日 -
公开（公告）号 CN208856914U 公开（公告）日 2019-05-14
申请公布号 CN208856914U 申请公布日 2019-05-14
分类号 C01B33/107（2006.01）I 分类 无机化学;
发明人 吴杰; 廖恒易; 曹小林 申请（专利权）人 江西华特电子化学品有限公司
代理机构 佛山市禾才知识产权代理有限公司 代理人 江西华特电子化学品有限公司
地址 332000 江西省九江市永修县经济开发区星火工业园
法律状态 -

摘要

摘要 一种四氟化硅的纯化系统，包括原料瓶组、冷凝器、第一吸附器、脱轻精馏塔、脱重精馏塔、产品罐、膜压机、第二吸附器和产品瓶组；原料瓶组的输出端连接于冷凝器的输入端；冷却器的输出端连接于第一吸附器的输入端；第一吸附器的输出端连接于脱轻精馏塔的输入端；脱轻精馏塔的输出端连接于脱重精馏塔的输入端；脱重精馏塔的输出端连接于产品罐输入端；产品罐的输出端连接于膜压机的输入端；第二吸附器连接于膜压机；膜压机的输出端连接于产品瓶组的输入端。本实用新型根据上述内容提出一种四氟化硅的纯化系统，能够有效地纯化四氟化硅。