一种高纯锗烷的纯化生产工艺及其生产系统专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种高纯锗烷的纯化生产工艺及其生产系统

基本信息

申请号	CN202010760970.7	申请日	-
公开（公告）号	CN111777040A	公开（公告）日	2020-10-16
申请公布号	CN111777040A	申请公布日	2020-10-16
分类号	C01B6/06(2006.01)I	分类	无机化学;
发明人	曹小林;裴友宏;何西;程紧	申请（专利权）人	江西华特电子化学品有限公司
代理机构	佛山市禾才知识产权代理有限公司	代理人	江西华特电子化学品有限公司
地址	332000江西省九江市永修县经济开发区星火工业园
法律状态	-

摘要

一种高纯锗烷的纯化生产工艺及其生产系统，纯化生产工艺包括以下步骤：对吸附器填装吸附剂；配置碱性液体通入碱洗器；用氦气抽空置换多个系统容器和管道，并活化吸附器；将冷凝器和冷阱预冷冻；将锗烷粗品脱除二氧化碳杂质；锗烷粗品脱除水分；锗烷粗品进入吸附器中深度脱除杂质；锗烷粗品在冷阱中分离锗烷和氢气；锗烷粗品冷阱内深度脱除杂质；收集得到高纯锗烷。纯化生产系统，包括：锗烷生产系统和锗烷纯化系统；锗烷纯化系统包括：碱洗器、冷凝器、1#吸附器、2#吸附器和冷阱；本方案一种高纯锗烷的纯化生产工艺，其方法简单和易于操作，能制备高纯度5.5N锗烷，克服了现有技术中制备高纯度锗烷需要投资大、效率低和纯度低等技术问题。